Лаборатория плазма-стимулированных аддитивных технологий

Сотрудники

Шахсинов Гаджи Шабанович
Должность
Заведующий лабораторией, к.ф.-м.н.
Область исследований
- Разработка и создание новых приборов и аппаратных комплексов для целей АСО и АСТ; - Разработка источника низкоэнергетичных ионов для технологии цифрового контролируемого атомно-слоевого травления поверхности; - Термическое и плазма-стимулированное Атомно-слоевое осаждение (АСО и ПС-АСО); - Термическое и плазма-стимулированное Атомно-слоевое травление (АСТ и ПС-АСТ); - Лазерно-лучевая эпитаксия.
Дополнительная информация
Старший преподаватель кафедры «Инженерная физика», к.ф.-м.н.
Закарьяева Мадина Закарьяевна
Должность
Инженер-разработчик
Область исследований
- Атомно-слоевое осаждение; - Атомно-слоевое травление; - Плазменные источники, моделирование плазмы.
Дополнительная информация
- В 2017 году с отличием окончила Санкт-Петербургский Государственный Университет по направлению «Радиофизика». - Победитель гранта УМНИК по теме «Разработка источника низкоэнергетичных ионов для технологии цифрового контролируемого атомно-слоевого травления поверхности». - разработка численной модели кинетических процессов в плоском плазменно-пучковом источнике заряженных частиц двумерной конфигурации, предназначенной для нанотехнологии атомно-слоевого травления, применяемого для создания 3D структур, а также созданием компьютерной модели плазменного источника в программном пакете Comsol Multiphysics и программном комплексе Solidworks.
Курбангаджиева Марьям Багаудиновна
Должность
Инженер-лаборант
Область исследований
- Наносекундные импульсные разряды, - лазеры; - Газовые разряды; - Нелинейные эффекты.
Дополнительная информация
- В 2016г заняла первое место на межрегиональном конкурсе на лучшую работу студентов вузов СКФО, приуроченной к 85-летию ДГУ в номинации «Лучшая работа в области естественных наук»; - В 2018г получила диплом 3 степени в конкурсе «Лучший студенческий проект в области инженерных и естественных наук» в рамках Всероссийского молодежного инновационного конвента; - В 2016г принимала участие в конкурсе «Умник» с темой «Исследование фазовых переходов в антиферромагнитной модели Изинга с учетом взаимодействия вторых ближайших соседей».

О лаборатории

Деятельность лаборатории «Плазма-стимулированных аддитивных технологий» связана с разработкой и созданием новых приборов и аппаратных комплексов для целей атомно-слоевого осаждения, АСО (Atomic layer deposition, ALD) и атомно-слоевого травления АСТ (Atomic layer etching, ALE). Для выполнения этих задач проводится комплекс экспериментальных и теоретических исследований спектральных, время-разрешенных, поляризационных и пространственных характеристик случайно-неоднородных рассеивающих и поглощающих сред (неравновесные нестационарные плазменные среды) с использованием методов лазерной оптической и нелинейно-оптической спектроскопии и микроскопии УФ, видимого и ИК диапазонов спектра. Имеется возможность исследовать механизм проводимых в камере поверхностных химических реакций в режиме in situ с помощью квадрупольного масс-спектрометра.

Благодаря импульсной подаче реагентов и последовательному повторению циклов атомно-слоевое осаждение позволяет наносить тонкопленочные структуры (~10 нм и менее) что очень важно на современном этапе развития полупроводниковой техники. В настоящее время кроме реакций с термической активацией, в которых тепловая энергия обеспечивается путем различного рода нагрева, широко используется реакции с плазменной активацией, в которых плазма, которую можно получить различными способами, обеспечивает большую часть энергии, необходимой для активации процесса осаждения. Применение плазмы для активации процессов осаждения приводят к появлению дополнительных эффектов влияющих на свойства пленок, что требует дополнительного исследования с применением соответствующих методик.

На сегодняшний день, в лаборатории «Плазма-стимулированных аддитивных технологий» Инжинирингового центра ДГУ и кафедре «Физическая электроника» сосредоточен богатый кадровый потенциал и уникальное научное оборудование, ориентированное на обеспечение инфраструктурной поддержки научных исследований.