Наши проекты

Технологии получения ультратонких пленок феррита висмута для устройств энергонезависимой памяти
Широкоапертурный источник низкоэнергетичных ионов на основе плазменно-пучкового разряда для прецизионных технологий атомно слоевого травления материалов наноэлектроники
Научное оборудование для атомно- (молекулярно) слоевого осаждения и травления покрытий